Pure ClF3 is stable to 180° in glass vessels; above this temperature it decomposes by a free radical mechanism to the elements. ClF3 tinh khiết ổn định đến 180 °C trong các bình thạch anh; Trên nhiệt độ này nó phân hủy bởi cơ chế gốc tự do thành các nguyên tố đơn lẻ.